超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，不含其它杂质，如细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也没有人体所需的矿物质等微量元素，即是去除氧和氢以外所有原子的水。可用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
水：
水，是由氢、氧两种元素组成的无机物，无毒，可饮用。在常温常压下为无色无味的透明液体，被称为人类生命的源泉，是维持生命的重要物质，也叫氧化氢。水是地球上最常见的物质之一，地球表面有71%被水覆盖。它是包括无机化合、人类在内所有生命生存的重要资源，也是生物体最重要的组成部分。纯水导电性十分微弱，属于极弱的电解质。日常生活中的水由于溶解了其他电解质而有较多的阴阳离子，才有较为明显的导电性。