1. 用石英砂和焦炭高温反应生成工业硅。2. 工业硅加上氯化氢反应生成三氯化硅。3. 将三氯化硅精馏生成高纯度三氯化硅。4. 用高纯度三氯化硅和高纯度氢反应生成多晶硅。5. 多晶硅高温熔融冷却后生成单晶硅。如上便是工业制硅的方法。