真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（上电极）、上层密封用的玻璃组成，其中下电极溅射在玻璃衬底上，电极上生长一绝缘层；硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。
1. 真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。
2. 真空传感器是工业实践中常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等众多行业。