1. 比较法：比较法测量简便，使用于车间现场测量，常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。比较时要求样板的加工方法，加工纹理，加工方向，材料与被测零件表面相同。
2. 光切法：双管显微镜测量表面粗糙度，可用作Ry与Rz参数评定，测量范围0.5至50。
3. 干涉法：利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为0.025至0.8微米的表面粗糙度。