先通过RO反渗透膜脱除水中99%以上的杂质(包括金属盐类)，再用这种水质去做超纯去离子水，这时离子交换树脂在含有少量电解质溶液中进行，即可比较彻底去除水中的各种阴、阳离子，而且使用时间和寿命都会明显增长，水质可达到很高的纯度，离子交换是目前制备高纯水工艺流程中不可替代的手段。
去离子水，又被称为纯水或高纯水。传统工艺是阴阳床+混床，现在通用工艺是RO反渗透+混床，更先进的是RO(REVERSE OSMOSIS)反渗透+EDI(电去离子)。在工业生产及实验室的实验中，如果涉及到使用水的工艺都被使用了去离子水，那么，许多参数会更接近设计或理想数据，产品质量将变得易于控制。