1. 虚空无为，指真如为显现空无的真理，真空寂灭，远离各种障碍，犹如虚空。
2. 择灭无为，指凭借无漏智慧的简择力，断灭一切烦恼而证得真如。
3. 非择灭无为，简称非择灭。指真如本性清净，不因人的智慧简择力达到寂灭后才显现出来。
4. 不动无为，指禅定进入色界第四静虑时，不为苦乐所动的实证境界。
5. 想受灭无为，又称灭尽定无为。指禅定进入无色定的无所有处境界，一切染污心想及苦乐二受俱灭，但仍然是不究竟的境界。
6. 真如无为，即佛所讲的能出生三界所有法的本体的无为性。法相唯识宗突出真如无为，认为前五种无为都是因真如无为的不同显现，这在佛教是一个对法界真相的呈示。