世界上第一台蒸汽机是古希腊数学家亚历山大港的希罗，于1世纪发明的汽转球，是蒸汽机的雏形。
约1679年法国物理学家丹尼斯·巴本在观察蒸汽逃离他的高压锅后制造了第一台蒸汽机的工作模型。
约与此同时萨缪尔·莫兰也提出了蒸汽机的主意。
1698年托马斯·塞维利、1712年托马斯·纽科门和1769年詹姆斯·瓦特制造了早期的工业蒸汽机，他们对蒸汽机的发展都做出了自己的贡献。
1807年罗伯特·富尔顿第一个成功地用蒸汽机来驱动轮船。
瓦特运用科学理论，逐渐发现了这种蒸汽机的毛病所在。
从1765年到1790年，他进行了一系列发明，比如分离式冷凝器、汽缸外设置绝热层、用油润滑活塞、行星式齿轮、平行运动连杆机构、离心式调速器、节气阀、压力计等等，使蒸汽机的效率提高到原来纽科门机的3倍多，最终发明出了现代意义上的蒸汽机。